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本文主要讨论衬底的晶向偏离与外延层表面波纹的关系,实验证实了临界偏离角度,要获取良好的液相外延表面,外延所用的碲锌镉衬底B面的品向偏离度须控制在0.2°以内.
碲锌镉衬底晶向的偏离与碲镉汞LPE薄膜表面形貌关系
【摘 要】
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本文主要讨论衬底的晶向偏离与外延层表面波纹的关系,实验证实了临界偏离角度,要获取良好的液相外延表面,外延所用的碲锌镉衬底B面的品向偏离度须控制在0.2°以内.
【机 构】
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上海技术物理所
【出 处】
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第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会
【发表日期】
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2001年3期
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