基于VEE的半导体特性分析系统4200-SCS自动校准系统

来源 :2013无线电、电离辐射计量与测试学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaogengwhy
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设计开发了一套半导体特性分析系统4200-SCS自动校准系统,该系统基于VEE在PC机上进行通信控制和数据处理.本文重点介绍了校准系统的组成和微小电流校准模块的研制,解决了校准系统中微小电流校准难题,在此基础上详细介绍了自动校准系统的软件设计.通过实验和调试,该系统已经运用到实际的校准工作中去.测试结果表明,该自动校准系统测试效率高、性能稳定、重复性好,满足预期使用目的.
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