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<正>在光学元件和光学系统的质量检测过程中,干涉仪作为一种能准确测量元件面形和系统波像差的有效工具得到广泛使用。对干涉测量得到的波面数据的正确处理,直接影响到检测结果的准确性。因为泽尼克圆多项式在单位圆内相互正交、线性无关,而且容易与光学设计中的赛德尔像差对应,因而通常采用泽尼克圆多项式对数据进行拟合处理。