蓝光发射多孔硅快速热氧化过程中硅纳米颗粒的尺寸分离效应

来源 :第十二届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaoHolly
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用AlO钝化的方法对多孔硅进行了后处理,获得了光致发光强度强,发光稳定的样品.通过对样品傅里叶变换红外吸收谱的测试和分析,指出了AlO的结构的产生是实验中多孔硅发光稳定性