柔性电子器件具有柔韧性、易携带、潜在的低成本制造等优点，在医疗、信息、能源、国防等领域具有重要的应用前景，已经引起了广泛关注。其中基于磁性金属薄膜的柔性磁电子器件因其可采用成熟的低温溅射镀膜工艺，且具有优良的金属延展性以及灵敏可靠的对磁电热应力等的多场响应，在柔性电子领域具有重要的研究价值。柔性磁性薄膜的一个极其重要的应用是基于柔性磁性金属薄膜的磁场传感器。传统的磁场传感器大多采用硅基衬底，不能拉伸，大大限制了其应用；而有些组采用柔性衬底制备的磁场传感器虽然可以拉伸，但是拉伸范围比较小，而且随着拉伸应变的增大会造成传感器性能的不稳定。为了提高磁场传感器在较大拉伸状态下的稳定性，我们采用磁控溅射的方法在预拉伸50％的柔性衬底聚二甲基硅氧烷(PDMS)上生长了结构为Ta/FeNi/FeCo/Cu/FeCo/IrMn/Ta 的自旋阀，之后释放，进行测试。通过预拉伸工艺形成的周期性褶皱结构可以提高自旋阀的拉伸能力；通过施加条带型掩模板可以有效减少薄膜表面由泊松效应所导致的裂纹。最后，我们成功制备了可拉伸50％的自旋阀器件，在应力施加测试中，电阻、灵敏度和磁电阻率都保持稳定。