【摘 要】
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光谱仪是分析物质成份、结构和含量的主要工具。现有各种桌上型光谱仪利用分立元件对空间自由光束进行操控，体积较大、抗震性较差，性能易受环境影响，不适合携带和现场快速检
【机 构】
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中国科学院 电子学研究所 传感技术国家重点实验室,北京100190
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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光谱仪是分析物质成份、结构和含量的主要工具。现有各种桌上型光谱仪利用分立元件对空间自由光束进行操控，体积较大、抗震性较差，性能易受环境影响，不适合携带和现场快速检测。因此，微小型便携式光谱仪成为了当今国际社会研究的热点。基于光栅分光的小型化光纤光谱仪和基于硅MEMS动镜迈克尔逊干涉仪的傅里叶变换微光谱仪已经得到广泛研究。前者需要使用昂贵的CCD探测器，后者仍含运动部件。
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