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金属In是用于红外焦平面器件互连的优质材料,它与器件芯片UBM(Under bump Metallurgy)的亲润性的好坏直接影响互连结构的可靠性.本文分析了互连结构中铟凸点与传统UBM(Cr、Au)中Au反应生成铟金化合物的现象(俗称"In吃Au"),阐明了合理选择UBM的重要性.
UBM对红外焦平面器件互连结构可靠性的影响
【摘 要】
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金属In是用于红外焦平面器件互连的优质材料,它与器件芯片UBM(Under bump Metallurgy)的亲润性的好坏直接影响互连结构的可靠性.本文分析了互连结构中铟凸点与传统UBM(Cr、Au
【机 构】
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华北光电技术研究所(北京)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年期
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