论文部分内容阅读
本文针对多层膜之间的结合力和应力进行了分析;剖析了多层膜各层膜厚的组合设计现在除了TIN和TICN交替镀层之外,还有性能更优良的三种或四种以上的不同膜层的交替镀层,列举了TIN、TICN、Al2O3的交替镀层,CrN和ZrN交替镀层,多元化合膜层:TiAlN的超硬膜层,还有硬膜和软膜的交替镀层:TIN和MoS2的复合镀层.以及类金刚石膜等均是表面功能膜今后发展和研究的方向。