电极结构对真空放电等离子体生成特性的影响

来源 :第十五届全国等离子体科学技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：simwwx

【摘要】

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　　真空放电过程生成高能量、高密度的金属等离子体，对离子注入技术具有重要意义.本研究采用单脉冲放电，放电电流幅值为100-600A、持续吋间为13us.通过探针法测量了放电产生的

【作者】

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张德金刘文正孔飞潘利江

【机构】

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北京交通大学,电气工程学院,北京,100044

【出处】

：

第十五届全国等离子体科学技术会议

【发表日期】

：

2011年期

【关键词】

：

电极结构真空放电等离子体生成特性离子注入技术金属等离子体等离子体密度单脉冲放电

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　　真空放电过程生成高能量、高密度的金属等离子体，对离子注入技术具有重要意义.本研究采用单脉冲放电，放电电流幅值为100-600A、持续吋间为13us.通过探针法测量了放电产生的等离子体的相关参数(电子密度、电子温度、空间电位、离子能量等)，讨论了几种电极结构下等离子体生成特性，分析了电极结构对生成等离子体密度的影响.并测量了在不同阴极材质下生成等离子体的扩散速度.

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