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超大规模集成电路(ULSI)生产需要大量的必不可少的高纯超净化学品,其中微电子无机化学品占了很大比重.本文综述了当前国内外在微电子无机超净高纯化学品、微电子无机超净高纯气体等方面的研究现状与进展,讨论了超净高纯化学品分析检测的原则,展望了微电子无机化学品的发展前景.
微电子无机化学品的研究现状与进展
【摘 要】
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超大规模集成电路(ULSI)生产需要大量的必不可少的高纯超净化学品,其中微电子无机化学品占了很大比重.本文综述了当前国内外在微电子无机超净高纯化学品、微电子无机超净高纯
【机 构】
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华东理工大学化学工程研究所(上海)
【出 处】
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中国化工学会无机酸碱盐专业委员会2004年无机盐学术年会
【发表日期】
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2004年10期
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