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本文论述微电子IC制造技术虚拟仿真平台,将半导体物理、IC芯片制造和封装工艺设计、集成电路IC制程(晶圆、芯片、封装)、微电子封装技术(器件三维叠层、系统立体封装)、微电子组装技术(BGA、PoP、FC、MCM、光电子)集成,构建微电子IC虚拟制造工厂。
微电子IC制造技术虚拟仿真平台
【摘 要】
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本文论述微电子IC制造技术虚拟仿真平台,将半导体物理、IC芯片制造和封装工艺设计、集成电路IC制程(晶圆、芯片、封装)、微电子封装技术(器件三维叠层、系统立体封装)、微电
【机 构】
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西南交通大学常州奥施特信息科技有限公司;
【发表日期】
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2004年期
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