【摘 要】
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介绍了一种基于激光光致热塑膨胀效应的三维微结构制备新方法。浸没在液体环境中的热塑性材料,在聚焦激光照射下,表面局部微小区域产生热融,并向充满液体的自由空间膨胀生长；停止激光照射后,在周围液体的冷却作用下,膨胀生长的部分迅速凝固成型,形成点、线、面、体等多种三维微结构,由此达到加工制备的目的。由于热塑膨胀只发生在激光光斑处的微小区域,可以通过调节光斑直径控制微结构的线宽,并且可以通过改变激光照射的参
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 杭州 310027
【出 处】
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2007年首届仪表、自动化与先进集成技术大会
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介绍了一种基于激光光致热塑膨胀效应的三维微结构制备新方法。浸没在液体环境中的热塑性材料,在聚焦激光照射下,表面局部微小区域产生热融,并向充满液体的自由空间膨胀生长；停止激光照射后,在周围液体的冷却作用下,膨胀生长的部分迅速凝固成型,形成点、线、面、体等多种三维微结构,由此达到加工制备的目的。由于热塑膨胀只发生在激光光斑处的微小区域,可以通过调节光斑直径控制微结构的线宽,并且可以通过改变激光照射的参数,如功率密度、照射位置以及照射时间等,控制制备不同形状的三维微结构。运用自行研制的加工系统进行了实验研究,制备出了点形石蜡三维微结构。实验结果表明此方法设备简洁、易操作、无需掩模,可实现三维微结构低成本、高效率地制备,为微机械、微光学、微电子技术、MO-EMS及微纳米技术等领域提供了应用基础。
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