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本文提出一种曲面变间距光栅的制作方法,首先在平面基片上制作光栅,再利用一种特殊材料(PDMS)将光栅转移到曲面上,避开了直接在曲面上进行光栅制作的步骤,且所制光栅性能稳定,光栅质量好.文中对所研制的曲面光栅进行了实验验证,并利用环境扫描电镜检测了光栅的线密度分布。
一种可控曲面光栅的研制
【摘 要】
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本文提出一种曲面变间距光栅的制作方法,首先在平面基片上制作光栅,再利用一种特殊材料(PDMS)将光栅转移到曲面上,避开了直接在曲面上进行光栅制作的步骤,且所制光栅性能
【机 构】
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中国科学技术大学力学和机械工程系,安徽合肥,230027
【出 处】
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第十一届全国实验力学学术会议
【发表日期】
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2005年期
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