【摘 要】
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本文提出一种以丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)薄膜作为各向异性腐蚀溶液的掩模的薄膜保护方法.ABS胶以旋涂法涂布在硅片表面,然后经过一系列的处理工序以增强膜与衬底的粘附性.本文比较了在不同温度条件下ABS胶膜在KOH和TMAH溶液中的抗腐蚀特性.实验证明:在90℃、25wt﹪TMAH溶液中,ABS薄膜的掩模时间达到10h左右.应用这种方法成功实现了风速计的背部体硅释放,降低了器件的工作功耗.
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文提出一种以丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)薄膜作为各向异性腐蚀溶液的掩模的薄膜保护方法.ABS胶以旋涂法涂布在硅片表面,然后经过一系列的处理工序以增强膜与衬底的粘附性.本文比较了在不同温度条件下ABS胶膜在KOH和TMAH溶液中的抗腐蚀特性.实验证明:在90℃、25wt﹪TMAH溶液中,ABS薄膜的掩模时间达到10h左右.应用这种方法成功实现了风速计的背部体硅释放,降低了器件的工作功耗.
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