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本文简介现行半导体制程排放VOCs废气处理技术重点,并讨论影响沸石浓缩转轮效益之因素,分别就各操作因子,例转轮转速、再生温度、面速度、入口浓度…等讨论处理效益的影响,由目前各厂的运转数据显示,适当设计的沸石浓缩转轮系统及活性碳流体化床吸附系统均可达90%以上的处理效益.
半导体制程排放之VOCs废气处理技术及现况
【摘 要】
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本文简介现行半导体制程排放VOCs废气处理技术重点,并讨论影响沸石浓缩转轮效益之因素,分别就各操作因子,例转轮转速、再生温度、面速度、入口浓度…等讨论处理效益的影响,由
【机 构】
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华懋科技股份有限公司; 国立台北科技大学冷冻空调工程系;
【发表日期】
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2004年期
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