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飞秒激光所具有的超短脉冲宽度、超高峰值功率的特点，使得飞秒激光在微纳加工领域中有着极其重要的应用。飞秒激光可以用于制备高性能微透镜阵列、三维微通道、浸润性可控表面微机构等先进功能元器件，也可以制备复杂的三维集成系统等。飞秒激光微纳加工过程中激光与物质的作用机制的过程中电子超快激发动力学过程对材料加工中微区能量传输、非线性电离、超快相变等瞬态过程产生重要的影响。