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纳米Ag具有催化作用[1]，通常与氧化银[2] 或二氧化钛薄膜复合，以获得高的光催化效率。本文采用氧等离子体辐照方法提高纳米Ag 颗粒膜光催化性能。使用真空蒸发镀在玻璃基体上制备纳米Ag 颗粒膜，然后将制备好的纳米Ag 颗粒膜样品放入磁控溅射系统中，并向系统中通入氧气，用射频辉光放电产生氧等离子体，辐照纳米Ag 薄膜。研究辐照时间对样品光催化性能的影响。结果表明，氧等离子体辐照能够明显地提高纳米银光催化性能。根据SEM、XRD 图和XPS 谱，分析了氧等离子体辐照后纳米银光催化效率提高的机理。