【摘 要】
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蓝宝石是氮化镓外延生长的重要的衬底。采用Dmax≤100nm，D50为53.9nm的纳米金刚石对C(0001)定向的蓝宝石衬底进行抛光，并与SiO2的抛光效果进行比较，结果表明：两者抛光机理不同。纳米金刚石能快速消除研磨工序的划痕，获得0.157nm(AFM：20μm×20μm)的光滑表面；SiO2的抛光效率低，能获得低粗糙度的光滑表面，但不能有效消除研磨工序的划痕。纳米金刚石与SiO2的抛光效率
【机 构】
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金瑞新材料科技股份有限公司 410012
【出 处】
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2009中国超硬材料行业技术发展论坛
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蓝宝石是氮化镓外延生长的重要的衬底。采用Dmax≤100nm，D50为53.9nm的纳米金刚石对C(0001)定向的蓝宝石衬底进行抛光，并与SiO2的抛光效果进行比较，结果表明：两者抛光机理不同。纳米金刚石能快速消除研磨工序的划痕，获得0.157nm(AFM：20μm×20μm)的光滑表面；SiO2的抛光效率低，能获得低粗糙度的光滑表面，但不能有效消除研磨工序的划痕。纳米金刚石与SiO2的抛光效率分别为142nm/min、70.49nm/min。
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