【摘 要】
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红外光源是非分光红外(NDIR)气体传感器的核心部件,针对传统灯丝结构红外光源调制频率低、寿命短等问题,设计制备了基于MEMS微热板及电喷雾辐射层的电调制红外光源.光源采用
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室 北京100190
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
红外光源是非分光红外(NDIR)气体传感器的核心部件,针对传统灯丝结构红外光源调制频率低、寿命短等问题,设计制备了基于MEMS微热板及电喷雾辐射层的电调制红外光源.光源采用约1.3μm厚Si3N4/SiO2绝缘层作为支撑膜,加热电阻为200nm厚的Pt/Ta膜,600℃时功耗约为631mW.采用电喷雾方法制备了Co3O4红外辐射涂层,研究了辐射层厚度对光源红外辐射强度及调制特性的影响,分析了光源辐射强度同功耗及波长的关系。
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