【摘 要】
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对物理法、化学法提纯的多晶硅进行酸和碱性腐蚀制绒,掌握冶金硅电池表面酸性制绒的最优工艺.PECVD 沉积双层SiNx 减反射膜,组成有效的电池表面光学系统.扫描电子显微镜、紫外可见分光光度计和椭偏仪测试各种绒面的表面形貌、反射率和各层减反膜的膜厚及折射率.为降低电池制作成本,对化学法多晶硅电池用碱性腐蚀液制绒,在入射波长650nm处未镀减反膜的反射率可降到21％左右.
【机 构】
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内蒙古大学物理科学与技术学院 内蒙古自治区半导体光伏技术重点实验室,呼和浩特 010021 内蒙古
【出 处】
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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)
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对物理法、化学法提纯的多晶硅进行酸和碱性腐蚀制绒,掌握冶金硅电池表面酸性制绒的最优工艺.PECVD 沉积双层SiNx 减反射膜,组成有效的电池表面光学系统.扫描电子显微镜、紫外可见分光光度计和椭偏仪测试各种绒面的表面形貌、反射率和各层减反膜的膜厚及折射率.为降低电池制作成本,对化学法多晶硅电池用碱性腐蚀液制绒,在入射波长650nm处未镀减反膜的反射率可降到21％左右.
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