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Highly Ordered Mesoporous SnO2 as Anode Materials for Lithium Ion Batteries
【机 构】
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Institute for Superconducting & Electronic Materials,School of Mechanical,Materials and Mechatronic
【出 处】
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IUPAC 5th International Symposium on Novel Materials and the
【发表日期】
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2009年12期
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受抛光过程和环境沾污的影响,InP单晶衬底表面含有过高浓度的残留硅杂质。在外延器件中,硅杂质作为浅施主会在界面处形成n型导电层,增加器件的寄生电容,从而降低了器件运行速率。为进步提高半绝缘InP基器件的性能要求降低其表面的残留硅杂质浓度。通过对半绝缘InP单晶衬底表面清洗和腐蚀过程的研究,提出了一种含有碱性溶液的腐蚀清洗方法。利用飞行时间二次离子质谱(TOF-SI MS)对经过不同表面处理的InP
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