【摘 要】
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起源衬底和薄膜材料晶格失配的错配应力和因两种材料热膨胀系数不同导致的热应力普遍存在于薄膜铁电体中,并且由于应力与电极化的强耦合作用,它们对铁电薄膜物理性能产生重要
【机 构】
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南京邮电大学电子科学与工程学院,江苏南京210023
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起源衬底和薄膜材料晶格失配的错配应力和因两种材料热膨胀系数不同导致的热应力普遍存在于薄膜铁电体中,并且由于应力与电极化的强耦合作用,它们对铁电薄膜物理性能产生重要的影响.本报告主要利用唯象热力学理论讨论两种应力对PbTiO3厚膜和SrTiO3/Si异质结的物理性能的影响规律.研究发现选择合适的衬底材料和沉积温度将有利于改善PbTiO3薄膜材料的压电和介电性能.错配应力将显著影响SrTiO3/Si的铁电相变温度和物理性能,甚至产生体材料中不存在的新相结构.最后我们讨论了应力梯度对中心对称点群的介电体材料产生热释电效应的物理机制,而通常的热释电效应存在于11个非中心对称点群的材料中.我们的研究结果将对微纳米尺度的功能材料的实验研究有一定的指导意义.
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