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微机械陀螺仪的测量精度及灵敏度是制约其走向实用化的重要因素.本文提出利用电极间的隧道效应敏感陀螺输出位移的微小变化,对陀螺仪的结构方案进行了初步探讨.
一种微机械隧道陀螺仪原型方案初探
【摘 要】
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微机械陀螺仪的测量精度及灵敏度是制约其走向实用化的重要因素.本文提出利用电极间的隧道效应敏感陀螺输出位移的微小变化,对陀螺仪的结构方案进行了初步探讨.
【机 构】
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厦门大学机电工程系(厦门)
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年6期
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