【摘 要】
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压电晶体驱动器已经用于亚微米级位移的测量和控制.有许多测量微位移的干涉方法,然而难以做出结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统方法都需要许多光学元器件.本文提出用激光反馈干涉水测试PZT驱动器的动作特性,分析和讨论了激光反馈干涉信号的产生和处理方法,并给出了双压电晶片(bimorph)型PZT位移的实验结果.
【机 构】
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南昌大学物理系(南昌);南京师范大学物理科学与技术学院,光电技术江苏省重点实验室(南京) 南京师范
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压电晶体驱动器已经用于亚微米级位移的测量和控制.有许多测量微位移的干涉方法,然而难以做出结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统方法都需要许多光学元器件.本文提出用激光反馈干涉水测试PZT驱动器的动作特性,分析和讨论了激光反馈干涉信号的产生和处理方法,并给出了双压电晶片(bimorph)型PZT位移的实验结果.
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