【摘 要】
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依据精密加工过程中主轴振动频率特点,设计了一种基于巨磁阻单元的三轴加速度传感器.该三轴加速度传感器机械感应部分采用对称四翼式结构,通过合理布局巨磁阻单元构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度,机械感应部分与信号输出部分的一体化设计大大减小了产品体积.对三轴加速度传感器进行了灵敏度仿真与试验,详细分析了仿真与试验的结果.
【机 构】
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郑州职业技术学院材料工程系,河南郑州450121 东莞新科技术开发有限公司研发部,广东东莞5230
【出 处】
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第十一届全国随机振动理论与应用学术会议
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依据精密加工过程中主轴振动频率特点,设计了一种基于巨磁阻单元的三轴加速度传感器.该三轴加速度传感器机械感应部分采用对称四翼式结构,通过合理布局巨磁阻单元构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度,机械感应部分与信号输出部分的一体化设计大大减小了产品体积.对三轴加速度传感器进行了灵敏度仿真与试验,详细分析了仿真与试验的结果.
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