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微/纳米器件表面微观粗糙结构间由于液体介质存在而引起的弯月面力和黏着力是导致器件精度降低乃至失效的主要原因之一.文章建立了微/纳米尺度上球面-平面接触的物理模型,推导出弯月面力和黏着力的计算公式,分析了微/纳米表面分离过程中两接触表面分离距离、初始弯月面高度、润湿性能、分离时间等因素对弯月面力和黏着力的影响,为研究微/纳米表面抗黏着机理提供了理论依据.