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真空蒸发镀膜设备是制作光学薄膜的主要手段。随着光学薄膜的发展,传统的真空蒸发镀膜设备性能渐趋不能满足要求,为此,北京北仪创新真空技术有限责任公司对真空镀膜设备的设计(重奌是箱式前开门型设备)镀膜室的布局及真空系统的配置进行了改进。以适应使用需求。
真空蒸发镀膜设备的改进
【摘 要】
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真空蒸发镀膜设备是制作光学薄膜的主要手段。随着光学薄膜的发展,传统的真空蒸发镀膜设备性能渐趋不能满足要求,为此,北京北仪创新真空技术有限责任公司对真空镀膜设备的设
【机 构】
：
北京北仪创新真空技术有限责任公司;
【发表日期】
：
2004年期
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