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本文介绍集成电路生产中产生的各种有害废气的种类，废气中有害物质浓度及危险性，降低车间内的有害气体的方法，并依据工程实践，评述了各类有害废气的各种处理方法。
集成电路生产厂房废气的污染及治理
【摘 要】
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本文介绍集成电路生产中产生的各种有害废气的种类，废气中有害物质浓度及危险性，降低车间内的有害气体的方法，并依据工程实践，评述了各类有害废气的各种处理方法。
【机 构】
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中国电子工程设计院
【出 处】
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第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛
【发表日期】
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2007年8期
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