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自从1990年国际计量委员会决定采用量子化霍尔效应作为直流电阻基准,愈来愈多的国家计量院正采用QHR作为国家直流电阻基准。但是,能够制作并研究量子化霍尔器件的实验室并不多。本文简要介绍了器件制作的关键工艺和目前国际上的研制现状。
量子化霍尔电阻器件的发展现状与制作工艺
【摘 要】
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自从1990年国际计量委员会决定采用量子化霍尔效应作为直流电阻基准,愈来愈多的国家计量院正采用QHR作为国家直流电阻基准。但是,能够制作并研究量子化霍尔器件的实验室并不多。本文简要介绍了器件制作的关键工艺和目前国际上的研制现状。
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京 100013
【出 处】
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第四届全国电磁计量大会
【发表日期】
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2007年8期
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