【摘 要】
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氧化铟锡(ITO)薄膜是一种透明导电氧化物薄膜,由于其优异的光电特性,被广泛地应用于平板显示、太阳能电池、除霜窗、电磁屏蔽窗等光电器件上.ITO薄膜的光电性质受很多因素影
【机 构】
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上海超精密光学制造工程技术研究中心,复旦大学光科学与工程系,上海,200433
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氧化铟锡(ITO)薄膜是一种透明导电氧化物薄膜,由于其优异的光电特性,被广泛地应用于平板显示、太阳能电池、除霜窗、电磁屏蔽窗等光电器件上.ITO薄膜的光电性质受很多因素影响,例如生长方法、氧分压、衬底温度、退火环境和温度等,关于这些方面的研究有很多报道[1,2,3,4,5].ITO薄膜在使用过程中,由于电流流过产生焦耳热会使其温度升高,或者由于周围环境也会使其温度升高,这将影响ITO薄膜的光电性质.因此,深刻理解ITO薄膜光电性质随温度的变化机理具有理论意义和实用价值.
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