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为了提高飞秒激光微加工的精度，本文研究了多脉冲飞秒激光烧蚀积累效应形成的机理。本文以铜靶为例，利用时域有限差分法(FDTD)对双温方程进行求解，得到了电子、离子亚系统温度及激光烧蚀阈值随反射率变化的规律。结果表明：在多脉冲激光烧蚀中前一个脉冲激光破坏了靶材表面的结构，使激光的反射率下降，导致后一脉冲激光烧蚀阈值大幅度下降。