【摘 要】
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文章是有关用于LCD的重氮萘醌系正性抗蚀剂的研究。本文采用线性酚醛树脂作为成膜树脂,在研究3,4,5-三羟基二苯甲酮、2,2’,4,4’-四羟基二苯甲酮分别与1,2-重氮萘醌-5-磺酰
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文章是有关用于LCD的重氮萘醌系正性抗蚀剂的研究。本文采用线性酚醛树脂作为成膜树脂,在研究3,4,5-三羟基二苯甲酮、2,2’,4,4’-四羟基二苯甲酮分别与1,2-重氮萘醌-5-磺酰氯、1,2-重氮萘醌-4-磺酰氯进行酯化合成传统的感光剂的基础上,又研究开发出了新的酯化母体:7,8-二羟基-4-甲基香豆素、6,7-二羟基-3,3-二苯基-3H-苯并呋喃-2-酮,并分别与1,2-重氮萘醌-5-磺酰氯和1,2-重氮萘醌-4-磺酰氯进行酯化得到新型的感光剂.再以丙二醇甲醚醋酸酯为有机溶剂,制备成配方溶液。在ITO薄膜及ITO玻璃上涂布,经过前烘焙、曝光、显影、后烘焙,得到正性抗蚀剂图像,进一步做成像性能实验,可知我们新开发的感光胶感光度高,分辨率高,显影速度快。
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