低成本高可靠性NOR型Flash耐久性测试系统的研究与设计

来源 :第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wdwm
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基于浮栅结构的NOR型Flash在进行长时间大量的读写操作后,会由于氧化层可靠性、读写干扰等问题,导致芯片出现耐久性缺陷。耐久性测试是Flash芯片测试中占用测试时间最长的测试过程,测试成本很高。本文在深入分析NOR型Flash耐久性缺陷机理的基础上,对Flash存储器耐久性测试方法进行了研究,设计了一种成本相对较低但可靠性很高的NOR型Flash耐久性测试与评估系统,该系统基于FPGA,可对待测芯片进行各种可编程的测试图形的耐久性读写测试,可实现长达100小时的稳定的可靠性读写实验,集成了对测试结果的定位、统计与评估,大大降低了测试成本。
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