本文介绍了我国微组装工艺设备标准化现状,现行有效的标准少之又少,分散独立,不成体系,制约了国产微组装工艺设备的集成能力和推广应用。介绍了微组装工艺设备标准群涵盖的微组装技术基础及标准群的主要组成,实施微组装工艺设备标准群项目的目的、作用和影响。成体系制定微组装工艺设备标准,系统化地规范和指导研制单位的微组装工艺设备设计、生产、检验验收和过程,以及用户单位的设备选型、订购、验收和使用过程,解决原来微组装工艺设备指标名称和要求不统一,设备研用单位设备检验规则、设备工艺验证方法不一致的问题,消除分歧,提高微组装生产线的建设成效。介绍了微组装工艺设备标准群的先进性,其应用及成效。通过微组装工艺设备标准群的实施,为微组装设备标准化工作构筑了新高地,变标准的"指导、支撑、推动"作用为"引导、提升、拉动"作用。