【摘 要】
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大型蒸发镀膜设备容积大,气体负载重,要求真空泵的抽速达到几万L/s.目前,该设备普遍采用高能耗的大型扩散泵+罗茨泵+滑阀泵抽气,每台设备,年耗电30～50万度.分析高能耗的原因，采
【机 构】
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深圳大学物理科学与技术学院,深圳518060
【出 处】
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广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会
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大型蒸发镀膜设备容积大,气体负载重,要求真空泵的抽速达到几万L/s.目前,该设备普遍采用高能耗的大型扩散泵+罗茨泵+滑阀泵抽气,每台设备,年耗电30～50万度.分析高能耗的原因，采用分子增压泵和电弧钛泵组成节能、低碳的新型抽气机组，取代传统高能耗扩散泵和罗茨泵，其中50-0.1Pa压强段，采用分子增压泵，0.1-0.2Pa区段，采用分子增压泵+电弧钛泵，一举攻克了三大高能耗难题。
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