【摘 要】
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文章介绍了硅电容式压力传感器的主要性能指标，包括基本参数、基本性能、静态性能、稳定性、温度影响、过载、静压影响、环境性能和疲劳寿命，着重介绍硅电容式传感器专有性
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳110043
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
文章介绍了硅电容式压力传感器的主要性能指标，包括基本参数、基本性能、静态性能、稳定性、温度影响、过载、静压影响、环境性能和疲劳寿命，着重介绍硅电容式传感器专有性能指标：基础电容、电容偏差、电容增量比。介绍了新国标的编制过程、主要性能指标的试验条件、试验方法、计算公式，给出了检验规则及合格标准。
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