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会议论文
MEMS模拟反馈加速度传感器及其测试
MEMS模拟反馈加速度传感器及其测试
来源 :2013中国西部声学学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:s4553711
【摘 要】
:
本文用自主研发的ASIC和一款高性能体硅MEMS敏感器件搭建了模拟反馈加速度传感器,介绍了它的工作原理,并对其进行了重力场标定和初步的性能测量,测得其敏感度为1.16 V/g,静态
【作 者】
:
乔东海
张寒
孙泉
汤亮
【机 构】
:
苏州大学,苏州,215006
【出 处】
:
2013中国西部声学学术交流会
【发表日期】
:
2013年期
【关键词】
:
MEMS
模拟反馈
加速度传感器
自主研发
性能测量
敏感器件
静态偏差
工作原理
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本文用自主研发的ASIC和一款高性能体硅MEMS敏感器件搭建了模拟反馈加速度传感器,介绍了它的工作原理,并对其进行了重力场标定和初步的性能测量,测得其敏感度为1.16 V/g,静态偏差约0.16V,本底噪声接近-100dbg/√Hz.
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