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本文介绍了使用聚合物材料制作光波导热光开关/调制器的材料选择、设计方法和制作流程,分析了聚合物材料在热光器件方面的优缺点以及工艺中的具体要求,提供了器件制作的完整工艺流程,并对器件进行了测试,开关功率为10mW,消光比为13.7dB,测试结果表明器件已接近实用化水平.
聚合物光波导热光开关/调制器
【摘 要】
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本文介绍了使用聚合物材料制作光波导热光开关/调制器的材料选择、设计方法和制作流程,分析了聚合物材料在热光器件方面的优缺点以及工艺中的具体要求,提供了器件制作的完整工艺流程,并对器件进行了测试,开关功率为10mW,消光比为13.7dB,测试结果表明器件已接近实用化水平.
【机 构】
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清华大学电子工程系(北京) 清华大学化学工程系(北京)
【出 处】
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全国第十一次光纤通信暨十二届集成光学学术会议(OFCIO2003)
【发表日期】
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2003年9期
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