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飞机关键部件的疲劳缺陷严重威胁着飞机的飞行安全，电磁无损检测技术由于其灵敏度高、检测速度快、非接触式检测、无辐射等优势广泛应用于飞机关键部件的无损检测中。本文提出了一种适用于金属表面微缺陷检测的柔性平面阵列式电磁传感器结构，通过分析检测线圈转移阻抗的变化，研究了激励线圈厚度、检测线圈线宽、线距等传感器关键结构参数的改变对传感器电导率灵敏度、输出信号幅值、空间分辨率等性能指标的影响，并对传感器对铝板上微缺陷的扫描过程进行了仿真模拟，为飞机关键部件的电磁无损检测奠定了基础。