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该文介绍了一种新型的小型低成本硅压力传感器。该传感器采用了国际上先进的微机械加工技术、大片静电封接技术，加上精巧的小型化封装结构设计，使制造成本大大降低。文中介绍了传感器的设计及关键制造工艺的研究，给出了主要性能测试结果。最重要的是，目前这种新型传感器已经投入批量生产，取得了很好的经济效益。
小型低成本硅压力传感器的研制
【摘 要】
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该文介绍了一种新型的小型低成本硅压力传感器。该传感器采用了国际上先进的微机械加工技术、大片静电封接技术，加上精巧的小型化封装结构设计，使制造成本大大降低。文中介绍了
【机 构】
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部沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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中国仪器仪表学会'96沈阳传感器及应用学术会议
【发表日期】
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1996年期
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