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在磁控溅射中单靶溅射具有成本低、影响参数少和制备过程简单易重复等特点，目前在制备磁控溅射靶材制备上的报道较少。热压法制备溅射靶材，需要长时间的高温烧结，这不仅会造成能源的浪费，而且会加大靶材制备的难度。
基于SPS烧结制备的高效CZTS太阳能电池
【摘 要】
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在磁控溅射中单靶溅射具有成本低、影响参数少和制备过程简单易重复等特点，目前在制备磁控溅射靶材制备上的报道较少。热压法制备溅射靶材，需要长时间的高温烧结，这不仅会造成能源的浪费，而且会加大靶材制备的难度。
【机 构】
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深圳市先进薄膜与应用重点实验室,物理与光电工程学院,深圳大学,深圳 518606
【出 处】
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第七届新型太阳能电池材料科学与技术学术研讨会
【发表日期】
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2020年7期
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