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液态感光抗蚀剂因良好的附着力和低成本等优势，使得在内层图转中得到广泛使用，由于作业状态为液态以及成型后膜厚度的缘故，所以需要更高的环境洁净度要求，产品转移也更要谨慎以避免划伤湿膜，但究竟多少才是最佳的膜厚度即节约成本又能保证质量，本文从相同的生产条件下对比不同膜厚蚀刻出来的产品合格率，论证最佳点。