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基于点源显微镜标定摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的方法
【机 构】
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中国科学院成都光电技术研究所,四川成都,610209
【出 处】
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第十五届全国光学测试学术交流会
【发表日期】
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2014年期
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