新型5自由度光学非球面CAM系统

来源 :中国仪器仪表学会精密机械分会99精密工程学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xong916
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
该文介绍自行研制的采用计算机控制光学表面成形技术的新型非球面CAM系统ZDCCOS。它包括5自由度(4轴数控、1轴浮动)的研磨热量光数控机床、专用双旋转研磨抛光头和检验面形的CQG-1型数字波面干涉仪。加工时,计算机控制非球面工件作2维摆动与旋转,研磨抛光头作3维移动,保证加工工具始终处于加工点的法向。经快速精磨和抛光,该系统加工了一个Φ300mm,F5.9的高陡度打靶聚焦透镜工艺试样,面形精度达到了 1.2λ(RMS,λ=0.6328μm)。
其他文献
采用超高真空CVD(UHV/CVD)系统制备了多晶锗硅poly-Si-Ge薄膜,Raman测试确定了Ge的组份,研究了其电阻温度特性,电阻温度系数TCR可达-2.10﹪/℃.
介绍了利用高灵敏度四角限硅光电管作为探测器的二维小角度测量系统.详细分析了其测试原理及实验装置,测试系统利用半导体激光器做光源,采用了偏振分光器件,结构小巧,能量利用率高,具有较高的测量精度.为小角度测试技术的研究提出了一种新的方法.
介绍了一种基于人工神经网络的故障检测方法,并将其用于虚拟测量系统.并用遗传算法对ANN的结构进行优化设计.
基于NEURON3150神经元芯片的LONWORKS现场总线技术已广泛应用于各个领域,为开发新型LONWORKS智能节点,满足不同应用需求,这里介绍NEURON3150神经元芯片与串行数模/模数转换器(TLC5615C/TLC2543C)的接口方法.
针对SAFMS-T六维测力平台在多测力平台通信,组网方面存在的主要问题,阐述了基于CAN总线的分布式六维测力平台网络系数的设计方案,并对其硬件结构和软件功能进行了介绍.
介绍了自主开发的基于多台(两台以上)电子经纬仪/全站仪组成的大尺寸柔性三坐标测量系统Metroln的系统设计思想,数学原理以及系统的构成与功能.测试表明:该系统点测量不确定度可达0.05mm,并概略介绍了系统在某航天器推进舱检测中的应用.
同时将RuO(0.3﹪)、SbO(2﹪)、CeO(2﹪)、SiO(2﹪)和PdCl(2﹪)作为掺杂剂掺入SnO时,得到了具有良好特性的SnO基CO元件.在工作电流为70mA下,元件对CO有良好的选择性,对浓度为1×10的CO和H元件的分离度是S/S=4;90天中元件有良好的稳定性.
在原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的拍击工作模式(Tapping Mode)下,探针的振幅受探针—样品间作用力的影响.该作用力与两者的间距密切相关,以探针—样品间作用力的平衡位置为界,将探针—样品间距划分为引力作用区域和斥力作用区域.本文中通过实验得到了探针的振幅随探针—样品间距变化的关系曲线——振幅曲线,详细讨论了振幅曲线与探针—样品间作用力的关系;并通过计