【摘 要】
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玻璃表面沉积氧化物薄膜赋予了玻璃诸多优异的光电性能，提高了玻璃的节能效果。针对利用浮法在线大面积制备的氧化锡掺氟FTO透明导电薄膜的微结构、光电性能进行了调控与
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310037
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玻璃表面沉积氧化物薄膜赋予了玻璃诸多优异的光电性能，提高了玻璃的节能效果。针对利用浮法在线大面积制备的氧化锡掺氟FTO透明导电薄膜的微结构、光电性能进行了调控与研究。研究发现，通过调控制得的微纳结构、柱状生长方式以及具有SiCxOy阻挡层结构的SnO2∶F复合薄膜具有较好的均匀性与稳定性、较高的可见光透过率(～80％)以及优异的电学性能(电阻率～10-4Ω ·cm)，可作为良好的透明导电薄膜运用于低辐射镀膜玻璃以及薄膜太阳能电池等领域。同时，针对后期深加工对薄膜结构与性能的影响，通过系列实验，分析了机理，对工业上的深加工工艺条件提供一定指导。针对国内外多种浮法在线制备的FTO透明导电薄膜进行了结构与性能的分析对比，可以对国内浮法玻璃镀膜技术的提高与创新提供指导意义。
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