切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
二氧化硅刻蚀实验模型参数优化提取
二氧化硅刻蚀实验模型参数优化提取
来源 :第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:glacier000
【摘 要】
:
本文研究了在PE8310全自动二氧化硅刻蚀的实验模型基础上,通过最小二乘法优化提取了模型参数,从而求得被刻蚀二氧化硅厚度与主要工艺参数的定量关系.借助于在较宽的工艺条件
【作 者】
:
殴阳毅
刘志弘
刘荣华
乔忠林
仲涛
付玉霞
刘爱华
林发永
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所(北京清华园)
【出 处】
:
第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
二氧化硅
刻蚀实验
模型参数
氧化硅厚度
最小二乘法
优化提取
实验模型
精确控制
经验公式
工艺条件
工艺参数
定量关系
全自动
硅刻蚀
基础
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文研究了在PE8310全自动二氧化硅刻蚀的实验模型基础上,通过最小二乘法优化提取了模型参数,从而求得被刻蚀二氧化硅厚度与主要工艺参数的定量关系.借助于在较宽的工艺条件范围内建立的经验公式实现了对被刻蚀二氧化硅厚度的精确控制.
其他文献
多电压功耗优化方法在DSP中的应用
在数字信号微处理器中,单一工作电压往往造成CPU计算资源的浪费.降低工作电压是低功耗的有力措施.本文提出并分析了DSP任务队列的多电压功耗优化模型,在充分保证芯片运行速度
会议
多电压
功耗优化
优化方法
低工作电压
数字信号微处理器
任务队列
运行速度
优化模型
计算资源
低功耗
芯片
分保
措施
一种有效的故障测试集最小化算法
本文简单介绍了最小完全故障测试集的性质,在此基础上提出了一种故障测试集最小化问题的最优保存遗传算法,讨论了故障测试集最小化问题的基因表达方式——面向故障的整数编码
会议
故障
测试集
最优保存
整数编码
遗传算法
适值函数
实例验证
表达方式
基因
基础
CRTSⅢ型板式无砟轨道线下揭板试验施工技术
根据济青高铁CRTSⅢ型板式无砟轨道线下揭板试验实例,介绍了CRTSⅢ型板式无砟轨道揭板试验施工准备、底座施工、隔离层及弹性垫层施工、轨道板的铺设、灌注及揭板等各项施工
期刊
高速铁路
CRTSⅢ型板
无砟轨道
揭板试验
关于建筑工程框架结构工程施工技术研究
随着我国建筑行业的快速发展,人们生活水平逐渐提高,对于建筑工程的稳定性要求也越来越高,因此很多建筑工程中开始运用到框架结构的施工技术。用框架结构施工技术可以提高建筑物
期刊
建筑工程
框架结构
施工技术
高可靠亚微米ASIC建库技术
本文详细叙述了亚微米可靠性设计相关技术革新及ASIC建库方法,并给出了有关结果.
会议
高可靠
亚微米
可靠性设计
建库方法
技术革新
叙述
基于后续课程性质的大学英语六级课程模式探索
作为大学英语后续课程的重要组成部分,大学英语六级课程在新形势下依然具有重要的现实意义,因而,有必要对大学英语课程模式进行有益探索。具体而言,在课程设置上要与时俱进,
期刊
英语六级
后续课程
大学英语
动态评价
课堂教学法
教学效果
课堂效果
学习态度
克拉申
语言技能训练
探讨城市居住区园林景观规划概念设计
居住区公共景观的设计是通过对各景观构成要素的合理安排来实现的。现代住区的景观设计,不仅讲究绿化的形态,讲究植物质感与色彩的配置,还要讲究植物群落的生态化布局。此外,还包
期刊
居住区
园林景观
规划理念
概念设计
电子束曝光机模拟技术研究
本文建立一个描述电子在多元多层介质中散射过程的物理模型,在此基础上运用Monte Carlo方法模拟电子在靶体PMMA-衬底中的复杂散射过程,给出模拟结果.
会议
电子束曝光机
散射过程
物理模型
模拟结果
模拟电子
多层介质
运用
描述
基础
方法
衬底
靶体
农田水利与团场景观融合方式分析
在兵团的经济发展中,农业作为其他产业发展的重要根基,对兵团的经济建设具有十分重要的意义。团场是兵团农业生产的基础载体,兵团是维护新疆稳定实现长治久安的一支重要力量,兵团
期刊
团场小城镇建设
团场景观
农田水利建设
GIS在土地管理中应用和研究的新方向
GIS是近年来迅速发展起来的一门计算机科学,以其强大空间数据分析、处理及存储技术被广泛应用土地管理的各个方面.本文针对GIS技术应用于土地管理工作的必要性,GIS技术在土地
期刊
GIS技术
土地管理
应用分析
与本文相关的学术论文