【摘 要】
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Si纳米线及其阵列是近年内新发展起来的准一准半导体光电信息材料,在场效应器件、单电子存储器件、光探测器件、场发射器件、纳米传感器件和高效率发光器件以及集成技术中具
【机 构】
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Department of Physics,Tokyo Universit of Science,Tokyo,Japan
【出 处】
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第十四届全国凝聚态光学性质学术研讨会(OPCM'2008)
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Si纳米线及其阵列是近年内新发展起来的准一准半导体光电信息材料,在场效应器件、单电子存储器件、光探测器件、场发射器件、纳米传感器件和高效率发光器件以及集成技术中具有潜在的应用。本文以气-液-固(VLS)生长机制为主线,介绍了Si纳米线的各种金属催化生长和氧化物辅助生长方法以及器件应用,并指出了该研究今后的发展方向。
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