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本文综述了用于高温环境声表面波传感器的研究进展,针对其目前存在的主要问题,指出了发现新型耐高温敏感材料和敏感机理,不断优化传感器结构,提高传感性能是高温传感器的发展方向.此外,本文提出基于AlN压电薄膜层状结构可以实现一种在宽温度范围内无源温度补偿的SAW高温传感器敏感基底,能够解决敏感材料的工作温度不够高、温度漂移等问题这对于研制满足航天航空需求的高温传感器具有重要意义.