制造半导体探测器的新技术

来源 :全国核电子学与核探测器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lyl478
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激光掺杂形成P—N结是近年来出现的一项新技术,对制造核探测器将会显示出巨大的优越性。本实验采用高阻区熔硅单晶片,经常规清洗后在其表面蒸一层Ga,厚度不超过1μm。用调Q红宝石激光器对此硅表面进行辐照,激光波长为6943A,脉冲宽度为30ns,光束直径为4~8mm,功率密度为10~120MW/cm。辐照后清洗表面多余的Ga,测量正、反向电阻,并用热探针测导电类型。结果表明,对激光功率密度大于一定值的辐照样品,其表面已形成P-N结,并有明显的光敏性。(王太和摘)
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