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硬质薄膜TiN、类金刚石(DLC)薄膜等具有优异的力学性能(耐磨性、高硬度等)及良好的生物相容性,可应用于人工关节、手术器械等医疗器件的表面改性.但是,这些硬质薄膜内存在着较大的内应力,在薄膜沉积过程中或者是薄膜服役过程中会加速薄膜的失效,硬质薄膜中的内应力是影响硬质薄膜与基体结合力、硬质薄膜沉积厚度及服役寿命等的关键因素.